<!-- .at_3{LINE-HEIGHT: 22pt} .at_1{FONT-FAMILY: 宋体; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'} .at_2{LINE-HEIGHT: 19pt; mso-line-height-rule: exactly} .at_0{MARGIN: 0cm 0cm 0pt; TEXT-INDENT: 21.75pt} -->**纯氦气净化器是采用复合型贵金属合金净化材料,后与各种活性气体形成稳定的化合物或固溶体,使气体达到目的净化的目的。 处理气体介质:氢气、氮气、氩气\氦气及其他惰性气体 特点:本产品可现场再生,材料选用不锈钢抛光材料,处理精度高,流量大,寿命10年以上,经过净化后的气体可达到ppb级净化。 适用范围:微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。 产品气流量:1-3000Nm3/h 产品纯度:>99.99999%