**纯气体净化器是以≥99.99%的高**惰性气体(N2、Ar、Nc、Hc、Xe)为原料,根据被提纯气体的不同,以**复合型贵金属合金净化材料,采用先进的净化技术,原料气通过净化剂时,原料气中的不纯气体被吸收,使原料气体净化至**纯气体,从而达到净化惰性气体的目的。 ◆ 特点:本产品吸气容量大、速率高,材料选用不锈钢抛光材料,处理精度高,流量大,寿命10年以上,经过净化后的气体可达到ppb级净化。装置体积小、移动方便、净化效能高且性能稳定、操作简便、安全。 ◆ **纯气体净化器分类:根据**纯气体净化器的应用环境不同,可分为箱式的和管道式两种。 ◆ 适用范围:大规格集成电路的研制与生产混合气、半导体工艺制备、稀有金属加工、特种灯制造以及激光器、溅射、气相色谱分析、**纯气体分析、研发、标准气体的配制、高纯单晶硅冶炼、拉制、晶片外延保护气体。 ◆ 处理气体介质:氢气、氮气、氩气及其他惰性气体。 ◆ 产品气流量:0.001-3000Nm3/h ◆ 产品气纯度:>99.99999%